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... 中国光刻机行业一直处于发展的起步阶段，尽管在技术上积累了大量的经验，已经能够制 ... 光刻机产业还存在一些问题，如国内研发力量相对薄弱、进口关键零部件的 ... 使用的LPP方式的250W还有较大差距。 光学系统：EUV光刻机需要使用特殊的反射 ...
