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... Resonant Accelerometer（SRA） consisting of a MEMS （Micro-electro- mechanical System） and an ... Integrated Circuit） readout circuit is designed. The MEMS sensor is fabricated by an 80 μm thick ...
... 监测设备姿态的需求，提出将 MEMS 传感器与 EtherCAT 实时工业以太网技术相 ... 从站控制芯片、STM32F407 微处理器、MEMS 传感器，设计了一种用于姿态 ... 站。STM32 通过 IIC 通信接口读取 MEMS 采集到的姿态数据，融合姿态 ...
... 。它集成了3 轴MEMS 陀螺仪，3 轴MEMS 加速度计，以及一个 ... 。它集成了3 轴MEMS 陀螺仪，3 轴MEMS 加速度计， 以及一个 ...
... 的原理,通过对微机电系统（MEMS）压电麦克风的结构参数进行 ... ,验证等效电路的合理性。为进一步优化MEMS压电麦克风的结构提供了理论 ... ,the structural parameters of micro-electromechanical system（MEMS） piezoelectric microphones are discussed,and an ...
... 电路可以很好地对高灵敏MEMS加速度计输出的信号进行放大,具体 ... millivolts to volts level.The output signal of MEMS high-sensitivity accelerometers which adopt this circuit design ...
... 电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）的发展，为了进行微小结构的机械力学特性分析，或者MEMS器件的可靠性测试研究等，通常 ... 微结构的表面轮廓信息。一般来说，MEMS器件具有毫米级的整体尺寸和 ...
... 分析和测定了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS磁强计和MEMS气压计等传感器的 ...
... 联导航系统的硬件的实现,采用MEMS惯性传感器作为捷联导航系统的核心敏感器件,根据MEMS惯性器件测量的原始数据,结合捷 ... 系统的基本原理,紧跟着概述了MEMS惯性敏感器件的发展概况,然后说 ... 的总体规划,紧接着详细给出了MEMS惯性器件的误差模型和一些主要 ...
该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型 ... 电场测量探头,并在基础上提出MEMS工频电场测量系统的系统级设计方案,成功实现了MEMS电场敏感芯片输出信号的无线采集 ... 输电线路下工频电场测量结果表明,MEMS工频电场测量系统与传统电场 ...
... ; 3 MEMS magnetometer (optional) ... ; 1 MEMS barometer (optional) ...
