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... 化、系统化、网络化。例如，MEMS传感器是一种微型化的传感器 ...
... 仪和三轴加速度计，采用MEMS技术，可以通过I2C接口与其他 ...
... 干扰等问题。而现在，随着MEMS技术的发展，出现了微型化 ...
... 推出的6in1传感器，在单芯片MEMS中安装的3轴加速度传感器、 ...
... 部分是硅-硅键合结构的MEMS压阻式压力传感器芯片，敏 ...
... 部分是硅-硅键合结构的MEMS压阻式压力传感器芯片，这个 ...
... 个芯片组成；一个是全硅MEMS谐振器，一个是具有温补功能 ...
... ，还分为有源无源、MEMS等多种技术。你是否有晶 ...
