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2011 microscale glass-blown three-dimensional spherical shell resonators，采用MEMS方法制作微泡谐振器，该谐振器可用于微陀螺，加速度计，时间参考等应用中。
作为一种全新的信息获取和处理技术，无线传感器网络（WSNs）集成了传感器技术、网络技术、及MEMS 技术，可广泛应用于军事、交通、环境监测等各种领域。而高速公路交通监控系统的研究与应用可促进我
介绍一种以单片机为核心，应用AD9835芯片产生向微直线致动器提供高频可调，相位可调，幅值可调的精密正弦电压源，并且采用VB设计上位机控制软面板。关键词 直接数字频率合成器；电压源；MEMS；
自动驾驶仪是无人机飞行控制系统的核心，采用ARM处理器和MEMS传感器件设计小型无人机自动驾驶仪符合飞控系统的高精度、小型化、数字化发展趋势，具有很好的应用前景。
分析了分布式微机电系统特点，对基于多主体控制的分布式微机电系统构成进行了研究，提出了采用多主体技术实现分布式MEMS控制的框架。对系统的模型、微机电主体的结构、行为策略进行了形式化表示，给出了控制算法
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... all using the advanced CMOS90nm process.1 MEMS(1) Accelerometers [5]LIS2L02AL LIS2L02AQLIS2L02AQ3(2) Accelerometers ...
