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... 器等关键模块; 5. 微电子机械系统(MEMS) 和 生物传感器等高科技领域也 ...
... 的转台)或者采用固态扫描技术(如MEMS微机电系统或光学相控阵列)， ...
... 。 扫描技术：通过机械旋转、MEMS微振镜或光学相控阵等方式 ...
... 全景信息。 -固态激光雷达：采用MEMS微镜或其他无机械运动部件实现 ...
... 这款系统级解决方案集成了MEMS麦克风、微控制器单元（MCU） ...
