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... ？在这过程中又要注意些什么？ ... 的工业现场应用要求，各种传感器原理和工艺有着不同的应用优缺点。这也是 ... 的微机电系统，包括加速度计（或加速度 ... 的快速发展，MEMS惯性传感器也有了更多的应用场景需求，具体 ...
... 的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。加速度计是 ... MEMS加速度计原理类似于一个质量块两端通过弹簧进行固定。在没有加速度的 ... 的变化会导致差分电容的变化。 具体的差分电容检测和计算加速度 ...
