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... 维护和安全等。 XENSIV™ MEMS Microphone 这些高性能MEMS麦克风旨在以更高的精度 ... 功率模式。 供货情况 新一代XENSIV™ MEMS麦克风 IM69D127、IM73A135和IM72D128现已支持 ...
... 。作为行业功耗最低的MEMS加速度计，ADI ADXL362 MEMS加速度计是一个不错 ... 论坛EngineerZone™ http://ezchina.analog.com/community/mems · 更多有关产品信息 ... 270 nA，比竞争MEMS加速度计低一个数量级。MEMS加速度计内置活动 ...
... 叶变换红外光谱探测系统。 MEMS技术的成熟为分析仪器的小型化提供了契机,商用的MEMS微镜成本低、性能稳定。本文利用MEMS微镜的光学开关特性提出了 ... 的主要研究内容包括: 1)基于MEMS微镜技术提出了新型的小型化 ...
... 广泛地应用于军民领域中。MEMS陀螺信号检测的手段有电容检测 ... 光学干涉检测的方法与MEMS陀螺结合，能够使MEMS陀螺实现高精度、 ... ”，本文对基于光学干涉检测的MEMS陀螺信号读出技术做了一些基础 ... 及信号处理。 首先介绍了MEMS陀螺输出信号的主要检测方法和 ...
... 。 首先简要阐述了MEMS传感器的基本原理、工艺结构、 ... 机械系统(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS)，是在微电子技术基础上结合 ... 以及ARM7内核和μC/OS—Ⅱ操作系统构建MEMS传感器的检测和系统控制仿真平台 ...
... 波损耗,提高传感器的测量精度,对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究。首先,通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的 ... ,分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性,得到了MEMS悬臂梁的间距 ... 功率传感器的匹配特性,对双通道MEMS微波功率传感器的设计具有一定的 ...
... 能全部准确、有效地传递到MEMS应变传感器上,造成传感器的测量值 ... 一定误差。为了分析表面粘贴式MEMS应变传感器的应变传递机理,基于剪滞理论建立了MEMS应变传感器的力学分析模型,推导出基体和MEMS应变传感器基底上的应变分布、 ...
... 股份有限公司近日取得一项名为“MEMS器件及其制造方法”的专利，授权 ... 日。本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法。该制造方法 ... 形成MEMS模块，CMOS电路与MEMS模块连接，用于驱动MEMS模块，其中，形成MEMS ... 形成空腔。该方法制造的MEMS器件灵敏度高同时又显著降低制造 ...
... 地位，尤其是在MEMS技术的应用上。ST的MEMS传感器技术被广泛 ... 应用的一些探讨。ST的MEMS传感器技术MEMS技术结合了微型机械结构和 ... 以及低功耗等优点。ST的MEMS传感器产品主要包括以下几类： ... 监控等。(2)陀螺仪ST的MEMS陀螺仪用于测量物体的角速度和 ...
