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... ,微 型 机 器 人 成 为 MEMS技 术 军 事 应 用 的 一 ... 发 展 现 状 开展 了基 于 MEMS技 术 的 智 能 机 器人 ... 进 行 研 究 ,它 就 是 MEMS 技 术 。短 短 十 几 年 ,MEMS技 术 已 成 为 21世 纪 ...
... 选择。介绍了主流微惯性器件MEMS结构与ASIC的MCM&SoC系统 ... -chip(SoC) schemes of the system integration of MEMS structure and ASIC have become the current mainstreams ...
... /pA.该电路可满足光电探测与MEMS传感器微弱电流检测的需求.In view of photoelectric detection and weak current detection of MEMS sensor,a high resistance I-V conversion pA ...
... 且输出线性度良好。In the MEMS sensor capacitance detection of circuit, capacitive-voltage conversion ... and also be satisfied to the requirements of MEMS capacitive detection system. Using 0. 25μm technology ...
... 微机电系统(Micro—electro—mechanicalsystem,MEMS)磁场传感器微弱信号处理电路的 ... design of a micro-electro-mechanical system(MEMS) weak signal processing circuit of mag- netic ...
... ;微流体系统;微流体驱动MEMS是指基于(但不限于) ... 的微小系统。微流体系统是MEMS的一个重要分支,包括微传感器 ... 技术的日益成熟,人们发现制约MEMS发展的不再是加工手段,而是 ... 研究受到了前所未有的审视。作为MEMS的一个组成部分,微流体系统同样 ...
... Chapter 3. MEMS Technologies Chapter 4. Scaling Issues for MEMS Chapter 5. Design Realization Tools for MEMS Chapter 6 ...
Integrated MEMS Sensors for Industrial Control:Recent developments in sensors have thepotential