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... 的SiT15xx系列采用微机电技术（MEMS）生产振荡器克服了传统石英元件 ... “ SiTime公司已创新的硅MEMS克服传统石英的局限性，设计具有 ... 推动电子行业用100％的基于MEMS的时钟元件。 SiTime公司 ...
... in the traditional sigma-delta interface of capacitive MEMS accelerometers. To address this problem,a newtype of ... oil detection is designed. This paper presents a MEMS-based 5th-order sigma-delta capacitive accelerometer,where ...
... 。In view of problems of the existing MEMS flow sensors has small measuring range and not ... to the curved surface,a type of flexible MEMS flow sensor,which mainly includes heating resistor and ...
... 分辨率〉11 bit。A single-axis MEMS gyroscope signal process circuit is designed based on a MEMS sensor.Stability of the closed-loop drive circuit ...
... 应用于医疗诊断。 微机电(MEMS)传感器是当代发展最为迅速的传感器 ... 的传感器和传感方法的研究为MEMS传感器的发展与应用开拓了广泛 ... 主要任务是完成基于EIT技术的MEMS传感器电流激励和电压测量方式的 ... 上，建立了基于EIT技术的MEMS传感器数据采集硬件电路。设计并 ...
... 安全监测能力。 随着MEMS器件的发展，特别是新型半导体 ... 、红外探测器)和微光学器件(MEMS光栅，MEMS红外热敏探测器)的出现， ... 气体检测的经验基础上，采用MEMS技术、集成化技术，研究设计的双通道双补偿原理的MEMS红外探测器，并结合国内碲镉 ...
... 应用的一个重要领域之一。MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量 ... 重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成为世界各国的研究热点。基于MEMS 技术制造出的微机械加速度计 ... 实验室工艺水平，制定以非硅MEMS加工技术为基础的工艺流程。整个 ...
... ，本文设计研制了一种基于MEMS仿生矢量水听器的高效、 ... 主动信号频率，对双T型MEMS仿生矢量水听器进行了优化 ... 经障碍物反射后由双T型MEMS仿生矢量水听器接收（声 ... 应用前景。 本文首次实现了MEMS仿生矢量水听器作为避障 ... 一定的基础，期望本文研究有助于MEMS仿生矢量水...
... 始终没有重大突破。 基于MEMS加速度传感器的地震检波器在频带、 ... 的性能。因此,本论文选择了MEMS电容加速度型传感器。 本 ... 工作安排如下: 首先,介绍了MEMS传感器和地震检波器的国内外研究现状 ...
... 测试结果表明本文设计的多个MEMS 加速度计融合的数字倾角仪在 ... 使用经验，对两种典型的MEMS 加速度计布置方案的优缺点进行了 ... 倾角仪工作性能的不足，结合MEMS 加速度计输出信号的特性，提出 ... 。 (3)完成了多个MEMS 加速度计融合的数字倾角仪的 ...
