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... in the traditional sigma-delta interface of capacitive MEMS accelerometers. To address this problem,a newtype of ... oil detection is designed. This paper presents a MEMS-based 5th-order sigma-delta capacitive accelerometer,where ...
... dynamic response. Five kinds of detection circuit for MEMS capacitive pressure sensor areintroduced, which are based on ...
... 意义.The miniaturization and overall performance of the MEMS capacitance diaphragm vacuum gauges is closelyrelated to the ...
... 。In view of problems of the existing MEMS flow sensors has small measuring range and not ... to the curved surface,a type of flexible MEMS flow sensor,which mainly includes heating resistor and ...
... 分辨率〉11 bit。A single-axis MEMS gyroscope signal process circuit is designed based on a MEMS sensor.Stability of the closed-loop drive circuit ...
... 应用于医疗诊断。 微机电(MEMS)传感器是当代发展最为迅速的传感器 ... 的传感器和传感方法的研究为MEMS传感器的发展与应用开拓了广泛 ... 主要任务是完成基于EIT技术的MEMS传感器电流激励和电压测量方式的 ... 上，建立了基于EIT技术的MEMS传感器数据采集硬件电路。设计并 ...
... 安全监测能力。 随着MEMS器件的发展，特别是新型半导体 ... 、红外探测器)和微光学器件(MEMS光栅，MEMS红外热敏探测器)的出现， ... 气体检测的经验基础上，采用MEMS技术、集成化技术，研究设计的双通道双补偿原理的MEMS红外探测器，并结合国内碲镉 ...
... 应用的一个重要领域之一。MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量 ... 重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成为世界各国的研究热点。基于MEMS 技术制造出的微机械加速度计 ... 实验室工艺水平，制定以非硅MEMS加工技术为基础的工艺流程。整个 ...
... ）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已 ... 所有近期电子产品都应用了MEMS器件。MEMS是一门综合学科，学科 ... 热流理论，电子学，生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到 ... 头发的直径大约是50微米。MEMS传感器主要优点是体积小、重量 ...
... 零点几微米的机械执行器。MEMS 压力传感器是第一类批量应用的 ... 发动机歧管和轮胎的压力；而MEMS 加速度计则用于安全气囊、翻滚 ... 以及数字影院。近几年，MEMS 麦克风 也开始进入广阔的消费市场 ... 以及数码相机等。 本文将讨论 MEMS 加速度计产品中所采用的一些 ...
