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ANSYS在微机电系统MEMS设计中的应用367.pdfANSYS在微机电系统MEMS设计中的应用367.pdf
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... ) 即日起开售Melexis的MLX90830 Triphibian™ MEMS压力传感器。MLX90830采用悬臂设计， ... 互操作，同时又保留了新型MEMS器件的优势。 MLX90830具有可配置 ...
... ，该方案基于微机电系统（MEMS）的超声波传感器，拥有更小 ... 解决方案相比，英飞凌的MEMS和ASIC集成技术可将本底 ...
