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基于 MEMS 与单片机的西瓜成熟度无损检测系统的研究这是一份非常不错的资料，欢迎下载，希望对您有帮助！
TLP-USR01X是一款超小尺寸的超声波传感模块，它集成了宽频MEMS硅麦克风、电源管理、选频放大电路以及电压比较器，同时提供模拟输出和数字逻辑输出。
... omnidirectional, Top‐ported, PDM digital output MEMS microphone. It has high performance and reliability ...
传统集成电路，封装的成本相对较低；但是在某些器件中，封装成本已接近器件成本的1/2；在MEMS/微系统中，封装可能比芯片制造更加困难，成本可能上升为70%～90%；封装已经成为新器件商业化的瓶颈
... on Murata's proven capacitive 3D-MEMS technology. They enable exceptional possibility for OEM customers ...
... 发射端主要包括 ASIC 芯片/MCU、MEMS 传感器、天线、锂 亚电池等 ...
... With the development of micro-electro-mechanical （MEMS） system technology and integrated circuit technology, the ...
