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... 从压电,电容,PVDF,MEMS等技术出发来研究可以检测三 ...
... 信息化管理的要求。近年来,随着MEMS、SOC、无线通信和低功耗 ...
... 。其中采用的热敏电阻探测器为基于MEMS技术的高度集成单片红外器件 ...
... ,有一定的局限性。而基于MEMS加速度传感器的运动轨迹检测系统具有 ...
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... ,传感器产品需求不断增大。由于MEMS技术的出现,依托标准IC代 ...
... 传感器,并结合基于微机电系统(MEMS)的三轴陀螺仪和三轴 ...