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... 运动参数的研究，以惯性传感器MEMS陀螺和重力加速度传感器相融合的 ...
... 。并且，在当前快速发展的MEMS技术下，大量高性能数字IC出 ...
... 开展创新利用的成长阶段。基于 MEMS技术的加速度传感器被广泛应用于 ...
... 热式微流量传感器结构，并利用MEMS技术进行了加工制作，在不同 ...
近年来随着MEMS技术和嵌入式处理器的飞速发展， ...
... ; 首先，利用STM32单片机和MPU6050等MEMS传感器芯片构建了一个人体姿态数据 ...
随着 MEMS技术的不断发展，基于传感器的 ...
... 利用成熟的集成电路(IC)CMOS工艺结合MEMS后处理工艺能够制作各种微传感器 ...
... 了相关的理论分析。讨论了MEMS 器件的制作工艺，以及现有的 ...
