找到约 372 条相关结果
... of TDC,a weak capacitance measurement circuit for MEMS capacitive pressure sensors was proposed in this paper ... .Measurements of static capacitance below 10 pF and MEMS capacitive pressure sensor showed that the circuit had ...
... 了基础,具有一定的工程应用价值.MEMS gyroscope which was an important part of low ... problem of designing the signal adjust circuit of MEMS gyro CRM100 introduces the design and the realization ...
... authors present a drive and sense interface for MEMS vibratory gyroscopes. A gm-stage and a TIA ... more accurately. The interface is applicable for the MEMS gyroscopes whose resonant frequency is from 3 kHz ...
... 量可显著降低。对闭环MEMS加速度计进行温度循环试验，试验 ... 。Aiming at the thermal bias drift of MEMS accelerometer,a method to depress the drift based ...
为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间 ... 闭环驱动电路。测试结果表明,MEMS陀螺系统能在3 s内可靠 ... 于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器。
... anti-over loading capability of MEMS microaccelerometer, a new non-silicon MEMS capacitive microaccelerometer based on ...
... ，本文设计研制了一种基于MEMS仿生矢量水听器的高效、 ... 主动信号频率，对双T型MEMS仿生矢量水听器进行了优化 ... 经障碍物反射后由双T型MEMS仿生矢量水听器接收（声 ... 应用前景。 本文首次实现了MEMS仿生矢量水听器作为避障 ... 一定的基础，期望本文研究有助于MEMS仿生矢量水...
... 始终没有重大突破。 基于MEMS加速度传感器的地震检波器在频带、 ... 的性能。因此,本论文选择了MEMS电容加速度型传感器。 本 ... 工作安排如下: 首先,介绍了MEMS传感器和地震检波器的国内外研究现状 ...
... 测试结果表明本文设计的多个MEMS 加速度计融合的数字倾角仪在 ... 使用经验，对两种典型的MEMS 加速度计布置方案的优缺点进行了 ... 倾角仪工作性能的不足，结合MEMS 加速度计输出信号的特性，提出 ... 。 (3)完成了多个MEMS 加速度计融合的数字倾角仪的 ...
... 传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol ... 准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统 ... 表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展 ...
