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基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究.pdf

下载 2020-04-01 16:50

... 微机电系统(Micro-Electro-MechanicAlSystems,简称MEMS)加工技术,设计并制备了一 ...

基于MEMS悬臂梁压阻桥式传感器的检测仪的研制.pdf

下载 2020-03-28 18:38

... 显得十分必要。  论文研究了MEMS悬臂梁传感器的制备工艺,并 ...

基于MEMS技术的SnO2氢传感器的制作与电路设计.pdf

下载 2020-03-28 09:54

... 上完成的。首先创新的采用MEMS技术制作硅杯,并以PN ...

基于MEMS惯性传感器的空中输入笔研究.pdf

下载 2020-03-26 12:16

... 本文研究并开发了一种基于MEMS惯性传感器的空中输入笔系统, ...

MEMS探空气压传感器测试系统的优化设计.pdf

下载 2020-03-25 04:39

... 进行着不断的努力。在实验室MEMS技术支持下,本文中提出一 ...

MEMS热式风速风向传感器系统的优化设计.pdf

下载 2020-03-24 05:06

MEMS热式风速风向传感器因具有传统 ...

高性能MEMS热膜式气体流量传感器设计.pdf

下载 2020-03-23 00:13

... 为重点,设计了一种基于MEMS工艺的高性能热温差式气体流量 ...

基于MEMS传感器的姿态检测系统设计.pdf

下载 2020-03-15 01:06

... 按照姿态检测的设计要求,选取了MEMS传感器作为姿态检测的数据采集单元 ...

适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器.pdf

下载 2020-01-28 18:32

... 。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为 ...

基于Allan方差的MEMS陀螺仪噪声分析.pdf

下载 2020-01-20 21:54

... 方差方法,得到了5项对MEMS陀螺仪影响较大的噪声系数 ...