找到约 1861 条相关结果
... 微机电系统(Micro-Electro-MechanicAlSystems,简称MEMS)加工技术,设计并制备了一 ...
... 显得十分必要。 论文研究了MEMS悬臂梁传感器的制备工艺,并 ...
... 上完成的。首先创新的采用MEMS技术制作硅杯,并以PN ...
... 本文研究并开发了一种基于MEMS惯性传感器的空中输入笔系统, ...
... 进行着不断的努力。在实验室MEMS技术支持下,本文中提出一 ...
MEMS热式风速风向传感器因具有传统 ...
... 为重点,设计了一种基于MEMS工艺的高性能热温差式气体流量 ...
... 按照姿态检测的设计要求,选取了MEMS传感器作为姿态检测的数据采集单元 ...
... 。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为 ...
... 方差方法,得到了5项对MEMS陀螺仪影响较大的噪声系数 ...