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... 、体积大等问题,利用低成本MEMS惯性传感器,采用传感器斜装冗余 ...
... 情况下,微喷打印工艺制备的MEMS器件精度更高,性能更好。 ...
... 的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用 ...
... 指电极。传感器制作过程利用了MEMS工艺,不仅实现了传感器的微型化 ...
... 等优点 。 而且贴片天线可以使用MEMS 微加工技术加工 , 加工精度能够得到 ...
