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本文深入简出介绍了MEMS加速度计工作原理、基本数学模型、开环微机械加速度计数学模型、闭环微机械加速度计数学模型
Wolfson推出世界上高性能的超小型MEMS麦克风，下俩看看。
MEMS麦克风带来超清晰录音功能，有需要的可以下来看看
2007年硅MEMS麦克风市场，有需要的可以下来看看。
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容 ...
23.Open.MEMS Introduction en.Open_MEMS_EN
本文讨论如何根据角速率和角位移测量结果，从一个MEMS陀螺仪快速获取有价值的信息。
SMI MEMS压力传感器解决方案（汽车应用）……
传感器与传感器中枢（sensor hub）在可穿戴设备乃至物联网应用中扮演的角色越来越重要，MEMS传感器的精确度决定了所收集信息的品质，而传感器中枢则是提取信息以开拓不同应用的关键。
对于电容式和热式MEMS传感器来说，两种技术最大的区别在于其不同的传感技术。
