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... 器等关键模块; 5. 微电子机械系统(MEMS) 和 生物传感器等高科技领域也 ...
... 的转台)或者采用固态扫描技术(如MEMS微机电系统或光学相控阵列)， ...
... 。 扫描技术：通过机械旋转、MEMS微振镜或光学相控阵等方式 ...
... 全景信息。 -固态激光雷达：采用MEMS微镜或其他无机械运动部件实现 ...
... 这款系统级解决方案集成了MEMS麦克风、微控制器单元（MCU） ...
... 包括机械旋转扫描、微机电系统(MEMS)扫描和全固态扫描等多种形式 ...
... . 固态激光雷达：采用微电子机械系统(MEMS)、光学相控阵(OPA)或其他无机械 ...
... 式探针卡，垂直探针卡和MEMS探针卡三种。 3.探针台 ...
... 的传感器融合（SensorFusion），通过 MEMS 传感器、ASIC 芯片、软件和机电 ...
... 保持极高的数据完整性。 ADXL359 MEMS惯性测量单元 (IMU) 用于将精准 ...
