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... of microscale systems using COMSOL. Multiphysics and the MEMS Module. It takes you though severa fields of science commonly encountered when modeling MEMS: electrical and structural problcms, piczoelectricity, and ...
... 作用，所以本文对PIN开关、MEMS开关、继电器和FET模拟移相 ... 基本理论，分析了PIN开关、MEMS开关、继电器和FET模拟移相 ... 两款常用的PIN开关(2K4E)和MEMS（RMSW100HP）开关进行了参数提取 ...
... 数字化、智能化、网络化的要求。MEMS传感器是利用成熟的集成电路（IC）CMOS工艺结合MEMS后处理工艺制作的，它的 ... 。 目前，实验室的MEMS温湿度传感器制作工艺已经比较成熟， ...
针对MEMS陀螺仪输出信号随机漂移误差造成 ... ,最后应用于卡尔曼滤波对MEMS陀螺仪信号进行降噪。半 ... 性能优于基本卡尔曼模型,在MEMS陀螺仪的数据处理方面具有一定 ...
... 背景，给出了一种采用MEMS惯性器件构成的姿态角测量系统 ... 仪和HMC5883磁阻传感器。对于MEMS器件精度低，数据易发散的 ... ；姿态测量；微机电系统（MEMS）；STM32；航姿参考系统 ...
... 电传感器，提供业界最全面的MEMS系列产品，包括加速度计、陀螺 ... 、数字罗 盘、惯性模块、MEMS麦克风和环境（包括压力、温度 ... 保健行业• 多个生产基地专注于MEMS，公司内部具备完善的供货能力 ...
亚德诺半导体（ADI）传感器解决方案包括 MEMS 加速度计、MEMS 陀螺仪、MEMS 惯性测量单元（IMUs）、光学传感器、各向异性磁阻（AMR）传感器、温度传感器和霍尔效应传感器。
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围
... 、SiC）、微机电系统（MEMS）和绝缘体上硅（SOI） ... 需要放弃最优材料方案：某MEMS传感器厂商为满足HBM4kV要求，将 ...
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