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RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围
... 、SiC）、微机电系统（MEMS）和绝缘体上硅（SOI） ... 需要放弃最优材料方案：某MEMS传感器厂商为满足HBM4kV要求，将 ...
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... 的飞机上了。现在，随着mems(微电子机械系统)惯性器件技术的进步 ... 的光纤陀螺(FOG)和微机械陀螺(MEMS)精度越来越高，是未来陀螺技术 ...
... 轴飞行器导航各类参数图3：MEMS-IMU图4：IMU阵列IMU（ ... 。由于IMU芯片内部包含精密的MEMS结构和敏感的模拟电路，其 ...
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