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... to improve the sensitivity of MEMS capacitive sensor to measure low capacitance,a MEMS capaci-tive sensor conditioning ...
... -代电子产品带动了 MEMS 麦克风产业的新增长点.与此同时,MEMS 麦克风企业直接的并购 ... patent war.This article provides an overview of MEMS microphones technology and market. It also provides the ...
... 及军用组合导航系统的经济性。MEMS是Micro Electromechanical System(微机电系统)的 ... 本文在总结和归纳国内外MEMS陀螺仪技术发展和研制现状之后 ... ； 本文的最后，将MEMS陀螺仪应用于实验室自平衡机器人 ...
... 叶变换红外光谱探测系统。 MEMS技术的成熟为分析仪器的小型化提供了契机,商用的MEMS微镜成本低、性能稳定。本文利用MEMS微镜的光学开关特性提出了 ... 的主要研究内容包括: 1)基于MEMS微镜技术提出了新型的小型化 ...
微机电系统（MEMS）三维动态特性测试表征了MEMS器件在高速运动状态下的特性，是MEMS产品研发过程中至关重要的环节。 ... π/2的Hariharan算法。为减小因MEMS高速运动而引起的拍摄图片的 ... 进行误差补偿，减小系统误差。MEMS动态测试系统将基于MFC的平台 ...
... 广泛地应用于军民领域中。MEMS陀螺信号检测的手段有电容检测 ... 光学干涉检测的方法与MEMS陀螺结合，能够使MEMS陀螺实现高精度、 ... ”，本文对基于光学干涉检测的MEMS陀螺信号读出技术做了一些基础 ... 及信号处理。 首先介绍了MEMS陀螺输出信号的主要检测方法和 ...
... 。 首先简要阐述了MEMS传感器的基本原理、工艺结构、 ... 机械系统(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS)，是在微电子技术基础上结合 ... 以及ARM7内核和μC/OS—Ⅱ操作系统构建MEMS传感器的检测和系统控制仿真平台 ...
... 管理控制技术是关键。 针对MEMS微型发电机单体输出功率微小的问题 ... 技术方案。通过分析MEMS微型发电机的输出特性和MEMS超级电容器的储能特性，研究并建立了由MEMS微型发电机、MEMS超级电容器以及电源管理控制 ... 控制技术方案； ②简要分析了MEMS微型发电机的输出特性以及超级电容器 ...
... 波损耗,提高传感器的测量精度,对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究。首先,通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的 ... ,分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性,得到了MEMS悬臂梁的间距 ... 功率传感器的匹配特性,对双通道MEMS微波功率传感器的设计具有一定的 ...
... 能全部准确、有效地传递到MEMS应变传感器上,造成传感器的测量值 ... 一定误差。为了分析表面粘贴式MEMS应变传感器的应变传递机理,基于剪滞理论建立了MEMS应变传感器的力学分析模型,推导出基体和MEMS应变传感器基底上的应变分布、 ...
